PTLQ系列氣體制冷機用于氣體的降溫與冷卻，也可選擇進行升溫與恒溫控制。氣體通常為干燥的壓縮空氣或氮氣、氬氣等惰性氣體。進氣溫度可以是常溫的，也可以是高溫的，經(jīng)過氣體制冷機降至目標低溫。針對于晶圓測試載冷臺的應(yīng)用來說，氣體制冷機相比較于傳統(tǒng)的液冷有諸多優(yōu)勢，如使用方便、安全衛(wèi)生、成本低、無異味等?？蛻艨筛鶕?jù)氣體處理流量及溫度來選擇設(shè)備。系統(tǒng)主要由制冷系統(tǒng)、換熱系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。制冷系統(tǒng)采用蒸汽壓縮式制冷，壓縮機及主要制冷部件均采用國際品牌。換熱系統(tǒng)包括高效換熱器、連接管路、保溫等組成。控制系統(tǒng)采用西門子PLC，自適應(yīng)PID控制算法，面對不同的使用環(huán)境和負載，無需改變參數(shù)，即可實現(xiàn)最佳的溫度控制。高清觸摸屏顯示，完善的安全保護措施，設(shè)置有多種安全保護機制以確保系統(tǒng)的安全運行?？刂破魑锫?lián)網(wǎng)，可在手機APP上進行遠程查看數(shù)據(jù)、報警信息和遠程操控；可選配冷量回收裝置，提升能效，避免低溫冷凝水，通過機組自身的制冷，將進入裝置內(nèi)的干燥氣體進行降溫及恒溫處理，滿足工藝條件要求。